一种高精度气体压力控制算法设计与实现

张敬, 张天舒, 钱广程, 史宇辰, 董云升

Design and implementation of high precision gas pressure control algorithm

ZHANG Jing , ZHANG Tianshu , QIAN Guangcheng , SHI Yuchen , DONG Yunsheng

大气与环境光学学报 . 2025, (5): 676 -686 .